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在真空泵的維護(hù)中，如果真空泵不能達(dá)到更限真空度，首先要檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微的漏氣。其次，開啟氣鎮(zhèn)，泵運行約30 m in，排出非泵油污染產(chǎn)生的可壓縮蒸汽，消除可壓縮蒸汽對更限真空度的影響。排除上述兩個因素后，真空泵達(dá)不到更限真空度的主要原因包括以下幾個方面：
如果在真空泵的維護(hù)過程中發(fā)現(xiàn)泵油污染，則需要更換泵油;泵內(nèi)的濾油器堵塞，導(dǎo)致油路不暢通，壓縮和噴射系統(tǒng)供油不足，導(dǎo)致泵體密封不嚴(yán)。此時，需要清潔內(nèi)部機(jī)油濾清器。維修真空泵時，發(fā)現(xiàn)無法達(dá)到更限真空度，可能是由于分油閥變形、磨損或損壞，也可能是供油不足。在這種情況下，檢查并更換機(jī)油分配器的閥門。
真空泵長期使用會導(dǎo)致轉(zhuǎn)盤磨損或轉(zhuǎn)子中彈簧張力不足，導(dǎo)致吸入室和排出室隔離不嚴(yán)，從而導(dǎo)致真空泵的抽真空性能下降。因此，在維護(hù)真空泵時，應(yīng)更換轉(zhuǎn)盤和彈簧，并清潔轉(zhuǎn)子和泵室。檢查排氣閥是否動作失靈，導(dǎo)致排氣不暢。如有必要，更換排氣閥。
真空泵維修要怎樣進(jìn)行
真空泵維修中常見的漏油故障之一主要發(fā)生在真空泵的油窗、油箱墊片和電機(jī)軸承軸封處。主要原因是這些零件老化，真空泵使用壽命較長導(dǎo)致密封失效，導(dǎo)致漏油。油窗漏油是由于真空泵使用壽命較長導(dǎo)致油窗老化，或者油窗與油箱之間的粘合劑老化失效，導(dǎo)致泵漏油。
在維護(hù)真空泵期間，電機(jī)軸有兩個油封，一個前油封和一個后油封。任何老化故障都會導(dǎo)致漏油。油箱通過適配器與電機(jī)連接，在油箱與適配器的連接處設(shè)有密封圈對油箱進(jìn)行密封。如果老化，也會導(dǎo)致真空泵漏油。此外，適配器上有一個毛氈墊，用于回收泵油。如果充滿油，真空泵就會漏油。
為了解決漏油問題，在真空泵的維護(hù)過程中，需要更換老化的油窗、軸封、密封墊和加注泵油的氈墊。真空泵維護(hù)完成后，加注前用真空泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗加注口濾網(wǎng)，保持油箱清潔。