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在夏泉，沒有油泵，真空泵的泵送通道中沒有液體工作介質(zhì)或密封介質(zhì)，可以在泵送容器中獲得干凈的真空，并且在排氣時不污染環(huán)境。它是一種很有前途的真空泵。無油往復(fù)泵主要用于半導(dǎo)體工業(yè)、制藥工業(yè)、表面科學(xué)和食品工業(yè)。設(shè)計無油往復(fù)泵的關(guān)鍵是活塞環(huán)和密封圈或填料函的自潤滑材料。目前，使用Z廣泛的材料是聚四氟乙烯填充材料
填充的聚四氟乙烯由幾種聚四氟乙烯的填料組成，如碳纖維、玻璃纖維、青銅粉、石墨、二硫化鉬等的混合物。壓制燒結(jié)后可加工成活塞環(huán)。該活塞環(huán)韌性好，不易斷裂，化學(xué)性能穩(wěn)定，耐高達250高溫和高達00的低溫，能在金屬表面形成薄膜，摩擦系數(shù)小，具有良好的自潤滑性能。碳纖維增強聚四氟乙烯(CFRP)新型致密無十字頭往復(fù)泵
材料，其耐磨性、耐熱性、強度和彈性模量均高于其他填充聚四氟乙烯，其自潤滑性能優(yōu)異。近年來，為了減少活塞桿處的填料密封，無油往復(fù)泵往往采用無十字頭結(jié)構(gòu)。通過這種結(jié)構(gòu)，減小了泵的尺寸和重量，并且降低了成本。但曲軸箱需要抽真空，曲軸伸出端需要用無油機械密封。為了降低往復(fù)泵的更限壓力，瓦里安公司開發(fā)了三級往復(fù)泵。它由四個階梯活塞和四個階梯氣缸組成?；钊蟛渴切≈睆讲糠?，活塞后部空間由二級活塞泵送，以減少泄漏和限制壓力。每個氣缸都有一個進氣門和一個排氣門。這四個活塞，真空泵維護。