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20世紀(jì)中期，由于真空泵油霧分離器的發(fā)展，特別是由于高等級合金真空熔煉的需要，要求解決熔煉真空系統(tǒng)中真空度為I ~ 10-ZTOR時新的抽真空設(shè)備抽速高的問題。
當(dāng)時，無論是適合低真空運行的油封式機械真空泵，還是適合高真空運行的油擴散泵，都無法很好地承擔(dān)這一任務(wù)。由于油封機械真空泵在1-10-ZTOR時泵速嚴(yán)重降低，工作效率很低，如果被迫承受較大的泵速，將需要幾個并聯(lián)才能工作，不可避免地會造成很大的浪費。至于適用于高真空的油擴散泵，它不能在這樣的入口壓力下工作。因此，在這種情況下，有必要設(shè)計一種新型的高抽速、有效率率的真空泵油霧分離器。1044年出現(xiàn)在德國的羅茨真空泵就是為了滿足這種需要而誕生的。
羅茨泵于1974年成功應(yīng)用于真空冶煉，此后發(fā)展迅速。我國于1960年開始設(shè)計和試制這種泵，并在過去的20年中取得了長足的發(fā)展。應(yīng)用廣泛，泵的產(chǎn)量和質(zhì)量也在不斷提高。在我國真空行業(yè)，這種真空泵油霧分離器常被稱為機械增壓泵。
真空泵排氣過濾器的主要部件是一個旋轉(zhuǎn)的頑固輪(轉(zhuǎn)子)和一個用彈簧壓緊螃蟹的活動夾(旋轉(zhuǎn)刀片)。簾殼和轉(zhuǎn)子之間的間隙分為兩部分：吸入工作室和排出工作室。當(dāng)轉(zhuǎn)子沿箭頭方向高速旋轉(zhuǎn)時，在彈簧壓力和自身離心力的作用下，緊貼泵體內(nèi)壁移動和加熱的工作室容積不斷擴大，泵送氣體通過吸入口進入吸入工作室。
同時，排氣工作室的容積逐漸減小，氣體逐漸壓縮，壓力上升，當(dāng)壓力上升到一定程度時，排氣打開，通過油污，從泵排氣口排出。轉(zhuǎn)子每次旋轉(zhuǎn)都有兩個吸氣和排氣過程，使泵腔內(nèi)封閉的氣體體積周期性變化，完成吸氣和保壓的工作循環(huán)，以密封各部分的冷卻，使各部分滋潤精華。旋轉(zhuǎn)葉片泵的運動部件在夏天不在真空油犧牲。旋片真空泵使用方便，結(jié)構(gòu)簡單，工作壓力范圍大，可在大氣壓下直接啟動。
適用于抽出干氣或含有少量可冷凝蒸汽的氣體。由于泵的泵送能力小，通常只用于精制室和小型制藥設(shè)備。注意真空泵和真空系統(tǒng)中的氣體凈化裝置，防止腐蝕性氣體或吞入氣體進入真空系統(tǒng)，運行中及時檢查和更換真空泵油。
真空泵油霧過濾器在鋼鐵冶煉中已得到廣泛應(yīng)用，但在真空煉鋁中應(yīng)用不多。真空泵油霧過濾熔煉可以去除鋁中的雜質(zhì)，降低氣體和非金屬夾雜物的含量，提高合金元素的收率，減少對周圍環(huán)境的污染。
目前由于真空泵排氣過濾器生產(chǎn)成本高，耗電量大，僅用于制造高純鋁(99.999%)，或用于原子能反應(yīng)堆和一些電子工業(yè)材料的冶煉。隨著未來對鋁質(zhì)量要求的提高，鋁的使用越來越多。為了防止公害和開發(fā)新材料，真空泵油霧過濾熔煉法的應(yīng)用將越來越廣泛。