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常用真空泵技術(shù)分為濕式泵和干式泵，噴射真空泵工作原理：蒸汽噴射真空泵有一定壓強的工作的真空泵設(shè)備，蒸汽通過拉瓦爾噴咀，減壓增速，蒸汽的勢能轉(zhuǎn)變?yōu)閯幽懿⒁猿羲賴娙牖旌鲜遥c被抽介質(zhì)混合，進行能量交換，混合后的氣體進入擴壓器，減速增壓，動通轉(zhuǎn)化為壓強能，為了減少后級泵的抽氣負荷，配置冷凝器，通過有一定溫差的兩種介質(zhì)對流，進行熱交換，達到冷凝高溫介質(zhì)目的，排到大氣壓，泵起作用時，被輸送的氣體混合物經(jīng)過中間板（E）上的吸入口（H）進入葉輪，在泵入口處形成真空。氣體混合物充入位于液環(huán)內(nèi)徑和葉輪葉片根部之間的葉輪腔內(nèi)。當(dāng)葉輪轉(zhuǎn)動時，葉輪葉片浸沒在液環(huán)中的程度增加，而使液環(huán)和葉輪葉片根部之間的容積減少。結(jié)果是氣體混合物受到壓縮，直至到達中間板中（K）的排放口（J）。氣體混合物通過排放口排出。
真空分子泵維修在壓縮循環(huán)過程中，熱傳遞到液環(huán)。為了使溫度保持在工作液的蒸發(fā)點以下，需要進行冷卻。通過連續(xù)不斷地向液環(huán)添加冷的工作液來達到冷卻的目的。添加的工作液量與經(jīng)過排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等。氣體混合物和工作液經(jīng)過泵出口進行分離。
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。更限壓力(更限真空)從粗真空到10-12Pa以上的更高真空范圍。