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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的總稱。它是一種非常常見(jiàn)的設(shè)備，可以獲得高真空和更高真空。分子泵內(nèi)部有一個(gè)高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子。支撐轉(zhuǎn)子平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)的軸承承載大量負(fù)荷。正確使用和及時(shí)維護(hù)對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常運(yùn)行具有重要意義。專業(yè)分子泵維修廠家天之華帶大家了解一下分子泵使用時(shí)的注意事項(xiàng)。
盡量避免頻繁啟停：
當(dāng)分子泵以均勻的速度工作時(shí)，轉(zhuǎn)子葉片只受離心力的影響（真空阻力很小，可以忽略不計(jì)），即遠(yuǎn)離軸向的拉力；在加速和減速過(guò)程中，葉片也受到旋轉(zhuǎn)切線方向的力，這相當(dāng)于彎曲葉片的力。顯然，彎曲葉片對(duì)其疲勞壽命的貢獻(xiàn)更大。
此外，分子泵加速時(shí)功率大，內(nèi)部發(fā)熱嚴(yán)重，頻繁啟停(兩次啟動(dòng)間隔30分鐘)會(huì)導(dǎo)致熱量積聚，導(dǎo)致分子泵內(nèi)部溫度過(guò)高，加劇軸承磨損。
根據(jù)工藝條件選擇合適的冷卻方式：
分子泵有三種冷卻方法:自然冷卻、強(qiáng)制風(fēng)冷和水冷。300l/s下面的分子泵可以在沒(méi)有氣體負(fù)荷的情況下自然冷卻；當(dāng)較大的分子泵或有一定的氣體負(fù)荷時(shí)，需要選擇強(qiáng)制風(fēng)冷（風(fēng)扇冷卻）；對(duì)于一些負(fù)載較大的應(yīng)用程序（例如CVD），或者不方便使用風(fēng)機(jī)的環(huán)境(如輻射環(huán)境)，需要采用水冷。
無(wú)論采用何種冷卻方式，分子泵的環(huán)境溫度應(yīng)保持在5~在35攝氏度之間，采用處理后的軟水進(jìn)行水冷，冷卻水的溫度和流量也要符合說(shuō)明書(shū)的要求。
空檔滑行不可?。?br />當(dāng)分子泵工作時(shí)，轉(zhuǎn)速非常高（數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘）。在加速和減速過(guò)程中，不可避免地要經(jīng)過(guò)一些危險(xiǎn)的共振頻率。在這些共振頻率下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行會(huì)增加軸承負(fù)載，從而增加分子泵故障的風(fēng)險(xiǎn)。當(dāng)真空下自然停止泵（空檔滑動(dòng)）時(shí)，由于真空下的空氣阻力很小，分子泵轉(zhuǎn)子需要幾十分鐘甚至幾個(gè)小時(shí)才能完全停止，其中共振頻率運(yùn)行時(shí)間相對(duì)較長(zhǎng)。
一般建議在分子泵停機(jī)時(shí)，手動(dòng)或通過(guò)專用充氣閥（VentValve），通過(guò)充氣口填充空氣/氮?dú)?，增加轉(zhuǎn)子阻力，使其快速停止；手動(dòng)充氣時(shí)，注意控制充氣速度，使停機(jī)時(shí)間等于分子泵的啟動(dòng)時(shí)間（根據(jù)泵的大小，一般為3）~10分鐘）。
大多數(shù)型號(hào)的分子泵也具有電磁制動(dòng)功能（ActiveStop），可以在不破空的情況下快速停機(jī)。