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渦輪分子泵是質(zhì)譜儀（液體或氣體）的核心部件之一。在正常工作狀態(tài)下，其轉(zhuǎn)速高達(dá)50000轉(zhuǎn)/分甚至更高。如果質(zhì)譜長(zhǎng)期運(yùn)行，如果不對(duì)其分子渦輪泵進(jìn)行必要的維護(hù)，將直接造成損壞。根據(jù)作者的經(jīng)驗(yàn)，質(zhì)譜上分子渦輪泵的故障按嚴(yán)重程度分為以下三類：
1)例如，2017年報(bào)道的渦輪泵直接解體1；
2)渦輪泵因軸承磨損引起的溫度升高和振動(dòng)加強(qiáng)而停止工作；
3)渦輪泵電源故障。
其中，一種故障無法修復(fù)，需要直接更換新泵。居二類和第三類遇到了更多的情況，并且有一定的相關(guān)性。當(dāng)渦輪泵的軸承性能下降時(shí)，會(huì)導(dǎo)致泵在正常工作狀態(tài)下負(fù)荷增加，從而導(dǎo)致電源故障。
那么，我們應(yīng)該如何正確使用質(zhì)譜來降低渦輪泵故障的可能性呢？根據(jù)專業(yè)的渦輪泵制造商分子渦輪泵使用手冊(cè)要求:分子渦輪泵使用17500小時(shí)后更換密封油蓋，使用35000小時(shí)后更換軸承2。
現(xiàn)在我想和大家分享一下分子泵維修的經(jīng)驗(yàn)和居二類故障的維修經(jīng)驗(yàn)(第三類故障相對(duì)來說是很輕微的，需要從電路的角度來解決，這次就不分享了)。分享的是質(zhì)譜儀分子渦輪泵的維修。故障現(xiàn)象:儀器運(yùn)行過程中噪音突然外加，居二天發(fā)現(xiàn)儀器報(bào)錯(cuò)，分子渦輪泵轉(zhuǎn)速為0。初步判斷分子渦輪泵軸承磨損嚴(yán)重，然后拆下機(jī)器，取出分子渦輪泵進(jìn)行檢測(cè)(分子渦輪泵）。
分子渦輪泵
分子渦輪泵配置為一般渦輪泵，前端采用磁懸浮軸承。一般來說，磁懸浮軸承不需要維護(hù)，因?yàn)闆]有摩擦，所以在維護(hù)和維護(hù)分子渦輪泵時(shí)盡量不要移動(dòng)這部分。拆下分子渦輪泵后，拆下電源控制器和散熱控制器和散熱板，找到本次維護(hù)的后端軸承。拆下密封蓋后，軸承變黑（高溫碳化潤(rùn)滑油），軸承珠框架分散。軸承通過石油醚超聲波沖洗滾筒槽中的許多黑色顆粒，這顯然是珠框上的碎片。
分子渦輪比維護(hù)軸承軸承
這種故障是由于缺乏維護(hù)和過期使用后嚴(yán)重磨損而導(dǎo)致的典型渦輪泵軸承的分子渦輪泵損壞。一般情況下，更換軸承和密封油蓋后，儀器可以恢復(fù)正常。