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阿爾卡特真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢以及拆卸步驟
瀏覽次數(shù):0 日期:2022-11-17
阿爾卡特真空泵,是一個(gè)國際性的真空泵品牌,為客戶提供真空泵、檢漏儀、真空計(jì)以及微加工系統(tǒng)等。阿爾卡特的機(jī)械泵(油潤旋片泵、干式真空泵)廣為人知,抽速從0.5L/S到30L/S,廣泛應(yīng)用于撿漏、冷凍干燥、化工分餾、微電子工業(yè)、分析儀器、冰箱空調(diào)生產(chǎn)線等各種行業(yè)。下面小編分享關(guān)于阿爾卡特真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢以及拆卸步驟的內(nèi)容,歡迎閱讀!
阿爾卡特真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢:
1.消除了工藝過程污染油或油搭載進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn)
2.不會(huì)產(chǎn)生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產(chǎn)品或環(huán)境
3.它是完全干燥的,對上下游工藝沒有任何污染
4.干式真空泵中不會(huì)發(fā)生任何腐蝕
5.效率更高,耗電更少
6.吸入的溶劑或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收
阿爾卡特真空泵的拆卸步驟:
1.放油
2.松開進(jìn)氣咀法蘭螺釘,拔出進(jìn)氣咀,松開氣鎮(zhèn)法蘭螺釘,拔出氣鎮(zhèn)閥。
3.拆下油箱。
4.拆除止回閥開口銷,拆下止回閥葉輪。
5.拆除支座與泵的連接螺釘,拆下泵部裝件,電機(jī)拆否視方便而定。
6.松開泵蓋螺釘,拆下泵蓋,拉出二轉(zhuǎn)子及旋片。拆下低級轉(zhuǎn)子時(shí),先拆下開口銷。