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分子泵維修分為牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口，復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵，渦輪分子泵靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。分子泵在電機(jī)的帶動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn)，采用變頻電源驅(qū)動(dòng)電機(jī)，目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上，產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象，利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故降，而且制造困難，實(shí)際上很少應(yīng)用。后來對(duì)牽引分子泵進(jìn)行了改進(jìn)，出現(xiàn)了渦輪分子泵。
渦輪分子泵也是一種機(jī)械式真空泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的多級(jí)渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵更限真空比擴(kuò)散泵高，可達(dá)10-8pa。正常工作時(shí)需要一定的前級(jí)真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200pa之間，可采用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，圖5-15a就是由分子泵和機(jī)械泵組成的高真空機(jī)組。由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速高，通常用中頻電機(jī)帶動(dòng)，中頻電源的頻率在300-400HZ之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。
分子泵工作時(shí)振動(dòng)的產(chǎn)生及其減振措施保證分子泵工作精度的主要問題是盡量減少泵工作時(shí)的振動(dòng)。組成分子泵的零部件以及安放它的基礎(chǔ)，都可以認(rèn)為是一個(gè)彈性系統(tǒng)。當(dāng)分子泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)工作時(shí)，泵在其平衡位置作往復(fù)性機(jī)械運(yùn)動(dòng)，即是分子泵的振動(dòng)。