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渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵，渦輪分子泵要由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸基本相同，但葉片傾斜角相反。圖2為20個(gè)動(dòng)葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每?jī)蓚€(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙，動(dòng)葉輪可在靜葉輪間靈活調(diào)整旋轉(zhuǎn)。
渦輪分子泵的性能和特點(diǎn)泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級(jí)數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外，還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對(duì)氮(或空氣)的壓縮比為108～109；對(duì)氫為102～104；對(duì)分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。泵的更限真空度為10-9帕，工作壓力范圍為10-1～10-8帕，抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1升=10-3米)。渦輪分子泵需要在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均靈活調(diào)整程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的優(yōu)越性，因此要求配有工作壓力為1～10-2帕的前級(jí)真空泵。分子泵本身由轉(zhuǎn)速為10000～60000轉(zhuǎn)/分的中頻電動(dòng)機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng)。
渦輪分子泵應(yīng)用起動(dòng)時(shí)間短，能抽除各種氣體和蒸氣；分子泵適用于在要求清潔的高真空和更高真空的儀器及設(shè)備上使用。工作壓力范圍寬，在10-1～10-8pa范圍內(nèi)具有穩(wěn)定抽速；也可用來作為離子泵、升華泵、低溫泵等氣體捕集更高真空泵的前級(jí)預(yù)抽真空泵使用，這將獲得更低的更限壓力或更清潔的無碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境。