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真空分子泵是使機(jī)械真空泵在抽氣機(jī)理上有了新的突破。分子泵的抽氣機(jī)理與容積式機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，分子泵是在分子流區(qū)域內(nèi)靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象。因此，人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。
真空分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，利用了動(dòng)量傳遞原理，使分子定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。因其工作穩(wěn)定可靠，在分子流態(tài)下具有很好的抽氣效率，已經(jīng)成為清潔高真空、更高真空應(yīng)用領(lǐng)域的主流獲得設(shè)備，在科學(xué)儀器、工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備中得到廣泛應(yīng)用。真空分子泵性能特點(diǎn)體積小、重量輕、噪音低；更限真空度高；設(shè)有氣鎮(zhèn)閥，可抽除少量水蒸氣；內(nèi)裝強(qiáng)制進(jìn)油，潤(rùn)滑充分，性能可靠；保持進(jìn)氣壓強(qiáng)為1.33×10Pa時(shí)仍可連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)；不漏油、不噴油、不污染工作環(huán)境,排氣裝置有專配油霧收集器；可以配備小口徑轉(zhuǎn)換接頭和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的KF接口。
真空分子泵維修廣泛應(yīng)用在航天、航空、原子、石油、化工、制藥、電工、陶瓷、冶煉、新材料、真空熱處理、真空鍍膜等行業(yè)?；y真空機(jī)組具有顯著的節(jié)能效果，真空度高，高真空區(qū)間抽氣量大，可廣泛應(yīng)用于電力工業(yè)的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。是真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空濾油、冷凍干燥；航空模擬試驗(yàn)較理想的真空設(shè)備。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉塵的氣體，應(yīng)加裝過(guò)濾裝置。