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分子泵是獲得高真空和更高真空的關(guān)鍵設(shè)備之一。它被廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術(shù)、薄膜工程等工業(yè)領(lǐng)域和研究部門。它操作簡單、啟動時間短,在分子流區(qū)域內(nèi)對各種氣體的有效抽速幾乎不變,對分子量高的氣體壓縮比高,可以獲得清潔無油的高真空和更高真空環(huán)境，分子泵的發(fā)展直接影響著氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高真空重要部,是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數(shù)的好壞。
改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵轉(zhuǎn)速，檢測信號值發(fā)生變化，儀器在運(yùn)行時，分子泵轉(zhuǎn)速改變后，只要改變漏率信號的修正系數(shù)，無需再次定標(biāo)，即可保證檢測漏率的準(zhǔn)確性。若儀器檢測信號時，信號值偏小，可以考慮降低儀器的分子泵轉(zhuǎn)速，來提高檢測信號值，提高儀器的檢測靈敏度。專業(yè)分子泵維修分子泵的振動，主要是其振動零部件的不平衡引起的，主要因素有：渦輪轉(zhuǎn)子以及電動機(jī)主軸的不平衡是產(chǎn)生振動的主要來源。從渦輪轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)看，影響其平衡的原因有：轉(zhuǎn)子的材質(zhì)不均 ( 包括密度不均和膨脹系數(shù)的不均 ) ；渦輪轉(zhuǎn)子的各組成零件在制造中的加工誤差，如同軸度、轉(zhuǎn)子端面的平行度、轉(zhuǎn)子體的不對稱性等等；轉(zhuǎn)子的裝配質(zhì)量。如渦輪轉(zhuǎn)子上下葉輪因裝配不當(dāng)產(chǎn)生偏差；渦輪轉(zhuǎn)子在電動機(jī)軸上裝得不正；或裝配時壓緊力不足，高速運(yùn)轉(zhuǎn)后產(chǎn)生松動等。
專業(yè)分子泵維修分子泵穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)和經(jīng)過實(shí)踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求，分子泵高氣流量和高抽速基本款任意角度安裝防護(hù)等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認(rèn)證。