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真空分子泵常用的真空泵有旋片真空泵、羅茨泵、干泵、分子泵和冷泵等。擴散泵已經(jīng)很少使用。旋片真空泵可以接上N2氣鎮(zhèn),防止被抽氣體在泵油中凝結;接過濾器,過濾泵油中的雜質;接油霧過濾器和自動回油裝置,減少油的損耗。旋片真空泵分成普通型和防腐型，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。更限壓力(更限真空)從粗真空到10-12Pa以上的更高真空范圍。
真空分子泵維修對真空泵進行以下這些分類：動量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即變容真空泵和動量傳輸泵。變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。變容真空泵又分為：往復式，旋轉式（旋片式、滑閥式、液環(huán)式、羅茨式、螺旋式、爪形轉子式），其它型式。
真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵。真空泵的價格、運轉及維修費用。