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分子泵維修常見問(wèn)題
瀏覽次數(shù):0 日期:2022-11-05
分子泵的基本結(jié)構(gòu)基本定型為臥式和立式兩種。臥式分子泵具有抽氣時(shí)轉(zhuǎn)子受力均勻,軸承定位受力狀態(tài)好,使用壽命長(zhǎng),軸承更換過(guò)程中轉(zhuǎn)子位置不動(dòng),維修方便等特點(diǎn)。立式分子泵的裝配工藝要比臥式分子泵簡(jiǎn)單,所以近些年立式分子泵的發(fā)展速度很快,分子泵誕生至今,已有近百年的歷史,隨著各項(xiàng)科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步,分子泵技術(shù)也取得了許多創(chuàng)新與突破,現(xiàn)代分子泵更是朝著智能、靈活、有效率的方向發(fā)展,分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞,提高泵的抽氣效果。
分子泵維修常見問(wèn)題分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱,半邊冷的現(xiàn)象?原因是附近有光照或其他熱源解決方法:避免光照或熱源,分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑,請(qǐng)問(wèn)油為什么發(fā)黑?或者多長(zhǎng)時(shí)間油才會(huì)變黑?原因:冷卻不良,負(fù)載太大解決方法:檢查冷卻系統(tǒng),檢查真空系統(tǒng)分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中,出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復(fù)到正常,反反復(fù)復(fù),更換電源后現(xiàn)象仍如此,請(qǐng)問(wèn)該現(xiàn)象如何解釋?原因:負(fù)載太大,系統(tǒng)真空度不夠解決方法:檢查系統(tǒng),分子泵葉片破碎的原因:是異物掉入;沒有安裝過(guò)濾網(wǎng)肯定不行的,另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大,但如果硬度夠了一樣會(huì)造成傷害,輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀,重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時(shí)候會(huì)盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝,避免異物掉入。電壓的不穩(wěn)定,特別對(duì)磁浮類的分子泵損傷較大。前級(jí)泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過(guò)前級(jí)泵抽出,真空達(dá)到一定程度分子泵才會(huì)啟動(dòng)。如果前級(jí)泵的效率差,分子泵就會(huì)比較吃力,啟動(dòng)速度慢,抽氣時(shí)間長(zhǎng),電流高,分子泵溫度升高等。
分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。半導(dǎo)體的各種生產(chǎn)工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行,因此對(duì)真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。