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分子泵的發(fā)展歷程早期的分子泵均為牽引式分子泵，這種泵的體積大，抽速小，間隙小，故障多，應用時受到很多限制，所以只能在一些特殊領域使用，未能普及，從分子泵誕生至今，已有近百年的歷史，隨著各項科學技術(shù)的不斷進步，分子泵技術(shù)也取得了許多創(chuàng)新與突破，現(xiàn)代分子泵更是朝著智能、靈活、有效率的方向發(fā)展，近些年隨著控制理論與計算機技術(shù)的飛速發(fā)展并應用于分子泵上，使分子泵實現(xiàn)了電腦控制，從而實現(xiàn)了遠距離控制泵的起動、停車及調(diào)速，同時基于信息技術(shù)可建立完善的更安全及監(jiān)控系統(tǒng)，使分子泵朝向智能化方向發(fā)展。
渦輪分子泵是通過高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合實現(xiàn)氣體的抽取，獲得更高真空的一種機械真空泵。渦輪分子泵是在分子流動狀態(tài)下，利用機械動能氣體使分子直接壓縮并流動的真空泵。分子泵是獲得清潔真空環(huán)境的理想選擇。由于渦輪分子泵在某些情況下優(yōu)于低溫泵、離子泵和擴散泵，因此，一般情況下選擇渦輪分子泵。渦輪分子泵是高或更高真空泵，主要由轉(zhuǎn)子和定子兩個部分組成。一個旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子盤和一個靜止的定子盤組成了一個泵級，泵級產(chǎn)生一個特定的壓縮比。通過連續(xù)開啟增加壓縮效果的多個泵級，可以獲得高達1013的壓縮比。例如，現(xiàn)代真空泵在后側(cè)使用霍爾維克級（Holweck），減少了渦輪級的數(shù)量而不影響壓縮效果。與此同時，一些生產(chǎn)商可能將允許的前級管道壓力增加至30hPa以上，更大減小了前級泵的尺寸，并可初次使用隔膜泵。
分子泵在半導體設備中的應用在半導體生產(chǎn)制造工藝中，分子泵廣泛應用于光刻機、薄膜沉積設備、刻蝕設備、離子注入機等關鍵設備。