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真空分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見的獲得高真空和更高真空的設備。分子泵內部有高速旋轉的轉子，支撐轉子平滑轉動的軸承承擔了很大的負荷，正確的使用和及時的保養(yǎng)，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。另外，分子泵在加速時功率較大，內部發(fā)熱比較嚴重，頻繁的啟停（兩次啟動間隔<30分鐘）會造成熱量累積，使分子泵內部的溫度過高，加劇軸承磨損，真空分子泵在勻速工作時，轉子葉片僅受到離心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不計），即遠離軸心的方向的拉力；而在加速和減速的時候，葉片還受到轉動切線方向的力，相當于對葉片進行彎折的力。顯而易見，對葉片進行彎折對其疲勞壽命的貢獻更大。
真空分子泵特點：脂潤滑分子泵：油脂量更小，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空，全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境，油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小，真空分子泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)，按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。
分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得力量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。渦輪分子泵：泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來的一種復合式分子真空泵。