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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的總稱。它是一種常見的可以獲得高真空和更高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有一個高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子。支撐轉(zhuǎn)子平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)的軸承承載大量負荷。正確使用和及時維護對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常運行具有重要意義！可以減少分子泵維修的次數(shù)。
1.盡量避免頻繁啟停。
當(dāng)分子泵以均勻的速度工作時，轉(zhuǎn)子葉片只受離心力的影響（真空阻力很小，可以忽略不計），即遠離軸心方向的拉力；在加速和減速過程中，葉片也受到旋轉(zhuǎn)切線方向的力，這相當(dāng)于彎曲葉片的力。顯然，彎曲葉片對其疲勞壽命的影響更大。
此外，分子泵加速時功率比較大，內(nèi)部發(fā)熱嚴重，頻繁啟停(兩次啟動間隔小于30分鐘)會導(dǎo)致熱量積聚，導(dǎo)致分子泵內(nèi)部溫度過高，加劇軸承磨損。
2.根據(jù)工藝條件選擇適當(dāng)?shù)睦鋮s。
分子泵有三種冷卻方式:自然冷卻、強制風(fēng)冷和水冷。300l/s以下的分子泵可以在沒有氣體負荷的情況下自然冷卻；當(dāng)較大的分子泵或有一定的氣體負荷時，需要選擇強制風(fēng)冷(風(fēng)扇冷卻)；對于一些負荷較大的應(yīng)用(如CVD)或不方便使用風(fēng)扇的環(huán)境(如輻射環(huán)境)，需要水冷。
無論采用何種冷卻方法，分子泵工作的環(huán)境溫度應(yīng)保持在5-35攝氏度之間。采用水冷時，應(yīng)使用處理后的軟水，冷卻水的溫度和流量也應(yīng)符合說明書的要求。