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渦輪分子泵的工作原理、結(jié)構(gòu)類型及其優(yōu)缺點(diǎn)有哪些？專業(yè)分子泵維修廠家天之華來給大家講解
渦輪分子泵是一種真空泵，它利用高速旋轉(zhuǎn)的動態(tài)葉輪將動量傳遞給氣體分子，從而產(chǎn)生氣體的定向流動。
渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動速度快，能抵抗各種射線照射，抗大氣沖擊，無氣體儲存和解吸效應(yīng)，無油蒸汽污染或污染少，可獲得清潔的更高真空。渦輪分子泵廣泛應(yīng)用于高能加速器.可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置.重顆粒加速器和真空，需要重顆粒加速器和真空鍍膜。
為了使用渦輪分子泵獲得清潔真空，國外使用干式機(jī)械泵作為前級泵，形成無油真空系統(tǒng)。然而，目前國內(nèi)渦輪分子泵以油封機(jī)械泵為前級泵，形成油真空系統(tǒng)。如果操作不當(dāng)，很難避免油蒸汽回流和污染真空系統(tǒng)。國內(nèi)外都有一些有效的防止回流的措施和成功的操作經(jīng)驗。
應(yīng)用：如今，渦輪分子泵在現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用越來越多。例如濺射。.刻蝕.蒸發(fā).注入.分子束外延.離子處理和其他設(shè)備需要在真空環(huán)境中運(yùn)行。另一個例子是電子顯微鏡、表面分析儀器、殘余氣體分析儀和氦質(zhì)譜檢漏儀。渦輪分子泵也用于抽真空。此外，在宇宙模擬設(shè)備中.核聚變裝置.太陽能集熱管涂層生產(chǎn)線也采用大型渦輪分子泵或低溫泵，防止油蒸汽污染，而不是油擴(kuò)散泵系統(tǒng)。因此，在過去的十年里，渦輪分子泵，在中國.外部得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。隨著渦輪分子泵的應(yīng)用越來越多，干式前泵尚未普及和應(yīng)用，有時需要使用油封機(jī)械泵作為渦輪分子泵的前泵。因此，鑒于這種情況，正確選擇和操作渦輪分子泵是非常重要的。
確保渦輪分子泵適合工藝過程是很重要的。操作員需要泵制造商的詳細(xì)建議，以及有關(guān)工藝及其特點(diǎn)的準(zhǔn)確信息。這兩個方面目前都需要改進(jìn)。對于腐蝕過程，特別是在半導(dǎo)體行業(yè)，需要使用合成滾珠球軸承分子泵的密封氣體操作泵PFPE轉(zhuǎn)子由耐腐蝕材料(如鎳或陶瓷涂料)制成。
密封氣體，如干氮，可以在這些與迷宮密封相連的滾珠軸承外形成一層非常好的防腐和防塵保護(hù)膜。需要考慮到前級泵的尺寸。提供的密封氣閥可以調(diào)節(jié)密封氣流。密封氣體壓力需要符合操作手冊中規(guī)定的要求。
當(dāng)泵中的氧氣濃度高于大氣中的氧氣含量時，確保礦物油不會被氧氣氧化，從而失去潤滑性能。這可以通過使用氮?dú)庾鳛槊芊鈿怏w和/或PFPE油來避免。
對于形成沉積物趨勢的過程，例如CVD在（化學(xué)氣相沉積）中，涂層工藝將繼續(xù)在轉(zhuǎn)子和面向處理室的外殼部件上進(jìn)行。這將導(dǎo)致不平衡和振動，導(dǎo)致轉(zhuǎn)子破裂。在這一過程中，考慮這些預(yù)防措施和額外的監(jiān)測方案是非常重要的，即使在設(shè)計處理室時。