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1.切斷電源，拔下電源插頭。如果泵在系統(tǒng)上，應(yīng)從設(shè)備上取下。
2.擰下放油螺栓放油，用手移動皮帶輪，釋放泵腔內(nèi)所有剩余油。油應(yīng)該收集好。一般情況下，在真空泵底板下放置一個鐵油盤或磁盤常稱為方形盤）進(jìn)行收集，以便于將來蒸餾和回收，避免污染環(huán)境。
3.取下皮帶，取下皮帶輪.鍵，脫下底板，看電機(jī)的質(zhì)量(如發(fā)熱(.過臟.有干磨噪聲、振動較大等)應(yīng)修理或送電工洗油修理。
4.首先拆下真空蓋板（后蓋板，即遠(yuǎn)離泵輪的一端），并根據(jù)不同的螺釘使用不同的工具。對于一般的六角螺釘，可以使用一個固定的扳手。內(nèi)六角螺釘應(yīng)使用內(nèi)六角扳手。如有必要，應(yīng)使用套筒扳手，以免損壞螺釘。擰下蓋板螺釘后，輕輕啟動端蓋板。如果端蓋板緊密，應(yīng)緩慢啟動。例如，可以使用銼刀在泵腔和端蓋板之間的接縫處銼一個小槽，然后用螺絲刀（螺絲刀）將其插入小槽中，用手敲擊螺絲刀柄，或用小錘輕輕敲擊螺絲刀以退出端蓋板。不要用重錘敲擊。
真空分子泵維修
5.取下橡皮墊圈，用橡皮墊圈密封，退出定位銷。
6.取出轉(zhuǎn)子和旋轉(zhuǎn)片。通常，在低轉(zhuǎn)子端，有兩把攻絲匕首，用絲桿擰入這把匕首，很容易拉出低轉(zhuǎn)子。但是，拉出轉(zhuǎn)子時要注意用手捏緊旋轉(zhuǎn)片。由于旋轉(zhuǎn)片受彈簧力的影響很大，很容易脫手飛出，落在地上或遇到硬物，損壞旋轉(zhuǎn)片的棱角和表面，導(dǎo)致無端報告。
7.拆下高真空端，取出高轉(zhuǎn)子和旋片。這時，只需用手捏緊旋片和軸即可取出轉(zhuǎn)子。
8.拆泵前，應(yīng)事先了解待拆修泵的結(jié)構(gòu)特點.每個部件大致屬于哪種結(jié)構(gòu)類型。例如，不要拆卸屬于組件的部件，如某些旋轉(zhuǎn)泵的轉(zhuǎn)子，可以適當(dāng)?shù)卣{(diào)整其表面；如果組合轉(zhuǎn)子落入玻璃片中.金屬異物損傷腔體或本身的旋片槽已經(jīng)磨損過多，需要更換配件時，可以拆卸，但要小心記住其裝配方法。
9.檢查每個零件的精度、光潔度和損壞情況。特別注意旋轉(zhuǎn)片和轉(zhuǎn)子兩端的棱角，檢查是否有損壞，并做好記錄。對于不熟悉業(yè)務(wù)的泵修理工，他們應(yīng)該逐漸記住零件.記錄零件的原始裝配位置，防止重新安裝時出現(xiàn)錯誤。同時，拆下的零件不能放置、堆放、碰撞和丟失。把它放在一個方形磁盤里，或者放在一個木箱里，用絲綢蓋住。